❶   液态原料的汽化装置；

将液态反应原材料通过蠕动泵精密设定流量输送到加热汽化装置进行汽化。

汽化装置设定工作温度为200℃，工作室尺寸（卧式），采用不锈钢密封焊接，用电阻加热方式。

汽化装置设计有氩气入口，可作为汽化后的气态反应原料的稀释气或载气。

  ❷   催化剂细化装置；

设计一套微波等离子体设备，工作温度约1200℃，汽化后的气态反应原料或被氩气稀释的气态反应原料通入微波等离子体发生器中，反应原料分子会裂解、离化，成为等离子体态，从等离子体发生器中出来会生成纳米级尺寸的催化剂，并具有高活性。

等离子体发生器炬采用石英或其它陶瓷材质。

  ❸   碳管生成装置；

从等离子体发生器中产生的热态纳米级尺寸催化剂通过接口进入反应室，反应室同时通入甲烷气体，高温裂解提供碳源，在催化剂作用下生成碳管。

反应室设定工作温度为1200℃，工作室尺寸（卧式），采用耐热不锈钢密封焊接，用电阻加热方式。

  ❺   废气冷却装置；

  ❻   废气排放处理；

  ❼   真空装置；

  ❽   气体调节控制装置；

  ❾   电气控制装置。